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NS系列薄膜台阶测量仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
中图仪器CEM3000系列国产扫描显微电镜采用的钨灯丝电子枪,发射电流大、稳定性好,以及对真空度要求不高。台式电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。
VT6000微米级粗糙度共聚焦显微镜结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。在相同物镜放大的条件下,共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。
CEM3000系列SEM扫描电子显微镜采用的钨灯丝电子枪,发射电流大、稳定性好,以及对真空度要求不高。台式电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。
CEM3000系列100Pa仓内真空度扫描电镜采用的钨灯丝电子枪,发射电流大、稳定性好,以及对真空度要求不高。台式电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。搭配有多种探头,能够对样品进行多种手段的分析。
中图仪器台阶仪厂家NS系列通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作,结合亚埃级分辨率(5 Å)与智能化分析软件,可精准测量台阶高度(纳米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等参数)、膜层厚度及应力分布,为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。
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