CEM3000系列高抗振防磁性能扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备。空间分辨率出色和易用性强，用户能够非常快捷地进行各项操作。甚至在自动程序的帮助下，无需过多人工调节，便可一键得到理想的拍摄图片。

CEM3000系列国产材料科学台式扫描电镜能够提供多种成像参数供用户选择，满足专业用户的调节需求；搭配有多种探头，能够对样品进行多种手段的分析。

​中图仪器纳米级表面形貌台阶仪单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。

中图白光共聚焦显微镜以白光LED为光源，主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。它以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，保证仪器的高测量精度。

中图仪器CEM3000系列多探头SEM扫描电镜采用钨灯丝电子枪，其电子枪发射电流大、稳定性好，以及对真空度要求不高，使得钨灯丝台式扫描电镜能够在较短的时间内达到稳定的工作状态并获得清晰的图像，从而提高了检测效率，节省了时间成本。

SuperViewW高精度3D白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。