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NS系列薄膜台阶测量仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
中图仪器CEM3000系列国产扫描显微电镜采用的钨灯丝电子枪,发射电流大、稳定性好,以及对真空度要求不高。台式电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。
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