中图仪器3D白光干涉表面形貌仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

CEM3000高精度扫描电子显微镜凭借其简便的操作系统，让复杂的扫描电镜使用过程变得简单快捷。在工业领域展现出广泛的应用价值，标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统，能满足用户对多类型样品的观测需求，实现微观的形貌和元素分析等。

VT6000精密共聚焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。它具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。借助共聚焦显微镜，能有效提高工作效率，实现更准确的操作。

中图仪器纳米形貌观测扫描电镜用的钨灯丝电子枪，发射电流大、稳定性好，以及对真空度要求不高。紧凑的外型，能够不受场地尺寸制约，真正做到了空间适用性，用户甚至可以将其就近摆放在自己的桌面上。同时CEM3000也能根据用户需求，轻松移机，一台机器多处开花。

中图仪器CEM3000高性能复合抗振系统扫描电镜采用的钨灯丝电子枪，发射电流大、稳定性好，以及对真空度要求不高。标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统，能满足用户对多类型样品的观测需求，实现微观的形貌和元素分析等。

NS系列台阶高微观形貌参数测量仪线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。