​SuperViewW系列白光干涉3d表面形貌仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

国内自研高分辨率扫描电镜CEM3000系列采用钨灯丝电子枪，其电子枪发射电流大、稳定性好，以及对真空度要求不高，使得钨灯丝台式扫描电镜能够在较短的时间内达到稳定的工作状态并获得清晰的图像，从而提高了检测效率。

CEM3000系列台式钨灯丝扫描电镜在工业领域展现出广泛的应用价值，标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统，能满足用户对多类型样品的观测需求，实现微观的形貌和元素分析等。

NS系列探针式薄膜厚度台阶仪通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作，结合亚埃级分辨率（5 Å）与智能化分析软件，可精准测量台阶高度（纳米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等参数）、膜层厚度及应力分布，为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。

CEM3000系列纳米级成像高分辨扫描电镜高易用性快速成像、一键成片，无需过多人工调节。超高分辨率优于4nm(SE)，优于8nm(BSE)@20kV，超大景深毫米级别景深，具有高空间分辨率。

CEM3000系列高倍成像台式扫描电镜操作系统简便，使用过程简单快捷。样品一键装入，自动导航和一键出图能力（自动聚焦+自动消像散+自动亮度对比度）帮助用户在短短几十秒内就可获取高清图像，大大提升了使用效率。