SuperViewW白光干涉技术光学3D轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。

中图仪器4nm空间分辨率扫描电镜具有出色的电子光学系统，优于4nm的空间分辨率，保证了高放大倍数下的清晰成像，能够满足纳米尺度的形貌观测需求。

NS系列薄膜台阶测量仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

中图仪器CEM3000系列国产扫描显微电镜采用的钨灯丝电子枪，发射电流大、稳定性好，以及对真空度要求不高。台式电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。

VT6000微米级粗糙度共聚焦显微镜结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。在相同物镜放大的条件下，共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。

CEM3000系列SEM扫描电子显微镜采用的钨灯丝电子枪，发射电流大、稳定性好，以及对真空度要求不高。台式电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。