材料几何轮廓共聚焦显微镜技术

您是否面临着“微观细节捕捉不足、大区域测量断层、数据重复性差"等测量痛点？中图仪器材料几何轮廓共聚焦显微镜技术（VT6000系列）聚焦几何轮廓测量核心需求，高度测量精度≤(0.2+L/100)μm，重复性≤12nm，可精准捕捉台阶、曲率、平面度等核心几何参数；宽度测量精度±2%，重复性≤40nm，清晰还原微小轮廓的尺寸细节。

一、解决4大测量痛点

1.微观形貌测量精度不足

2.大区域检测效率低下

3.操作复杂导致人力成本高

4.设备碰撞风险影响使用寿命。

二、技术支撑

1.自主研发技术，高精度性能

依托国内科研力量与工业实践积累，核心技术实现全面自主可控。中图仪器材料几何轮廓共聚焦显微镜技术采用尼普科夫转盘共聚焦光学系统与自主研发3D重建算法，搭配隔震设计消减振动干扰，高度测量重复性≤12nm、精度≤(0.2+L/100)μm，宽度测量重复性≤40nm、精度±2%，可精准捕捉工业材料从纳米到微米级的微观细节。同时，兼容ISO/ASME/EUR/GBT四大国际及国内标准，支持300余种2D/3D参数测量，数据可追溯，满足工业生产与研发的严苛要求。

2.自动拼接功能

大区域几何轮廓无需拆分测量，避免数据断层，适配超大尺寸工件的全域轮廓检测，检测效率提升30%以上。

3.智能化操作，批量测量更高效

针对B端客户批量检测需求，优化全流程操作体验：

（1）一体化软件平台：测量与几何轮廓分析同界面操作，可视化窗口实时监控扫描过程，数据自动统计生成图表，无需反复切换软件；

（2）一键批量分析：支持多文件组合分析，可自定义几何轮廓分析模板，批量样品一键出结果，大幅减少人工操作时间；

（3）精密操纵手柄：集成X/Y/Z三轴调整功能，快速完成载物台平移与Z向聚焦，新手也能快速上手几何轮廓定位测量。

4.双重防护设计，设备稳定更耐用

工业场景高强度使用下，保障设备长期稳定运行：

（1）镜头防撞保护：配备压力传感器与弹簧结构，碰撞后自动弹性回缩并急停，避免几何轮廓测量中因操作失误损坏镜头与扫描轴；

（2）光源智能节能：无人值守时自动熄灯，防止过热损坏，延长光源使用寿命，降低运维成本；

（3）宽环境适配：工作温度15℃~30℃，相对湿度5%~95%RH无凝露，兼容多数工业车间与实验室环境。

三、多型号选择

从100×100mm到300×300mm的XY轴行程，搭配真空吸盘、电动位移台等配置，适配从小型精密器件到大型工业部件的全尺寸测量需求，无需依赖进口设备的定制化改造。

四、应用案例

1. 半导体行业：检测晶圆的激光烧蚀槽道几何轮廓，深度测量重复性≤12nm，助力优化封装工艺，提升芯片良率；

2. 3C电子行业：测量玻璃屏曲面曲率与微结构尺寸，平面度检测精度达0.1nm，保障屏幕装配贴合度；

3. 精密制造行业：对金刚石钻头、导电陶瓷的微观几何轮廓进行量化分析，为产品性能优化提供精准数据支撑；

4. 科研院所：为MEMS器件、微纳材料的复杂几何结构研发提供高精度测量支持，加速技术转化。

欢迎咨询获取对应行业的几何轮廓测量案例、型号参数对比表或专属报价。私信留言即可对接专属技术顾问，免费获取定制化几何轮廓测量方案与样品测试服务！

（注：产品参数与配置可能因技术升级调整，具体以实际沟通为准。）