中图仪器VT6000系列3D高精度共聚焦显微镜集成X\\Y\\Z三个方向调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。仪器以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,保证仪器的高测量精度。
中图仪器VT6000白光共聚焦测量显微镜以尼普科夫转盘共聚焦光学系统为测量原理,可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
VT6000共聚焦光学测量显微镜基于光学共轭共焦原理,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,保证仪器的高测量精度。主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。
VT6000高分辨率共聚焦显微镜系统采用全电动化设计,并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换,图像视窗和分析视窗同界面的设计风格,实现了所见即所得的快速检测效果。它能够清晰地展示微小物体的图像形态细节,显示出精细的细节图像。
VT6000共聚焦三维表面形貌测量显微镜可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
VT6000共聚焦超景深三维显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
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