中图仪器材料几何轮廓共聚焦显微镜技术（VT6000系列）聚焦几何轮廓测量核心需求，高度测量精度≤(0.2+L/100)μm，重复性≤12nm，可精准捕捉台阶、曲率、平面度等核心几何参数；宽度测量精度±2%，重复性≤40nm，清晰还原微小轮廓的尺寸细节。

中图仪器VT6000材料共聚焦显微镜系统主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量，如材料表面的粗糙度、微观形貌、几何轮廓等参数的测量，具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。广泛用于半导体制造、3C电子、航空航天等超精密加工领域中。

中图仪器VT6000系列微纳材料共聚焦显微镜在半导体、3C电子、航空航天等超精密加工领域，3D+2D全维测量各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，一台设备满足多维度检测需求。

VT6000粗糙度轮廓度共聚焦显微镜具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量，赋能超精密加工行业高效管控，如半导体制造、3C电子、航空航天等超精密加工领域。

VT6000微米级粗糙度共聚焦显微镜结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。在相同物镜放大的条件下，共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。

VT6000中图仪器共聚焦显微镜具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。借助共聚焦显微镜，能有效提高工作效率，实现更准确的操作。