NS系列台阶高微观形貌参数测量仪线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

NS系列表面轮廓薄膜厚度台阶测量仪线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。

NS系列探针式台阶高度测量仪通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作，结合亚埃级分辨率（5 Å）与智能化分析软件，可精准测量台阶高度（纳米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等参数）、膜层厚度及应力分布，为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。

NS系列精密台阶仪测试薄膜厚度通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作，结合亚埃级分辨率（5 Å）与智能化分析软件，可精准测量台阶高度（纳米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等参数）、膜层厚度及应力分布，为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。

NS系列精密台阶仪可精准测量台阶高度（纳米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等参数）、膜层厚度及应力分布，为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。

NS系列精密台阶仪测量仪器通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作，结合亚埃级分辨率（5 Å）与智能化分析软件，可精准测量台阶高度（纳米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等参数）、膜层厚度及应力分布，为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。