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中图仪器NS系列膜层厚度台阶高度测量仪亚埃级精度,(LVDC传感器核心)凭借亚埃级分辨率、多场景适配性与智能化操作,直击半导体、光伏、MEMS等行业测量痛点,为材料研发、工艺优化、质量管控提供精准数据支撑。
NS系列薄膜台阶测量仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
中图仪器台阶仪厂家NS系列通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作,结合亚埃级分辨率(5 Å)与智能化分析软件,可精准测量台阶高度(纳米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等参数)、膜层厚度及应力分布,为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。
中图仪器台阶测量仪线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
中图仪器国产台阶高度测量仪通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作,结合亚埃级分辨率(5 Å)与智能化分析软件,可精准测量台阶高度(纳米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等参数)、膜层厚度及应力分布,为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。
NS系列磁吸式测针台阶仪通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作,结合亚埃级分辨率(5 Å)与智能化分析软件,可精准测量台阶高度(纳米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等参数)、膜层厚度及应力分布,为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。
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