VT6000共聚焦三维表面形貌测量显微镜可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
VT6000共聚焦超景深三维显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
中图chotest共聚焦显微镜具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能,以及具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能,可进行长度、角度、半径等尺寸测量。
VT6000国产共聚焦3D材料分析显微镜以转盘共焦光学系统为基础,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等,在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像,从而进行分析的精密光学仪器,一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。
VT6000材料3D形貌共聚焦测量显微镜基于光学共轭共焦原理,结合精密纵向扫描,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,从而实现器件表面形貌3D测量。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
VT6000非接触式3D共聚焦显微系统以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等,在相同物镜放大的条件下,所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。
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