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SJ6000激光干涉仪检测设备

简要描述:SJ6000激光干涉仪检测设备氦氖激光器持续输出高稳频的激光源,再加上环境补偿器,使线性测量的精度稳定在0.5ppm,动态采集数据频率高达50KHz,测量速度4m/sec,高速测量下的分辨率为1nm。产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-08-29
  • 访  问  量:70

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SJ6000激光干涉仪检测设备除了环境适应能力好,还可以进行动态高速测量,选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。它集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。


SJ6000激光干涉仪.jpg

SJ6000激光干涉仪量程精度

稳频精度:0.05ppm

线性测量精度:0.5ppm(0-40)℃

线性测量距离:(0-80)m(无需远距离线性附件)

角度测量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m


产品功能

1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

3.可实现对机床回转轴的测量与校准;

4.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

5.具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

6.支持手动或自动进行环境补偿。


三坐标测量机示值误差测量.jpg


SJ6000激光干涉仪检测设备氦氖激光器持续输出高稳频的激光源,再加上环境补偿器,使线性测量的精度稳定在0.5ppm,动态采集数据频率高达50KHz,测量速度4m/sec,高速测量下的分辨率为1nm。

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