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国产激光干涉仪品牌

简要描述:SJ6000国产激光干涉仪品牌是一个交流测试系统,当激光光束强度受环境影响发生变化时,其频率不会受光强变化影响发生变化,也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此,它的抗扰力强,精度高,测量结果可靠,在高精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-11-11
  • 访  问  量:70

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SJ6000国产激光干涉仪品牌是一个交流测试系统,当激光光束强度受环境影响发生变化时,其频率不会受光强变化影响发生变化,也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此,它的抗扰力强,精度高,测量结果可靠,在高精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。


典型应用

1.数控机床的线性测量;

2.线性模组的定位精度测量;

3.实验室作为长度基准;

4.数控机床倾斜轴的线性测量;

5.小角度测量;

6.直驱电机的角度测量;

7.直线导轨的平行度测量;

8.设备直线度测量;

9.大理石平台的平面度测量;

10.三坐标的垂直度测量;

11.设备导轨垂直度测量;

12.双轴测量。


SJ6000激光干涉仪,双频激光干涉仪.jpg


SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。


SJ6000激光干涉仪,双频激光干涉仪.jpg


测量精度高、速度快,稳定性好

①使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm);

②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级;

③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s;

④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度;

⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变。

应用范围广

SJ6000国产激光干涉仪品牌可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测;

②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析;

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析。


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