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高速激光干涉仪

简要描述:SJ6000高速激光干涉仪采用高性能的稳频氦氖激光器,采用迈克尔逊干涉原理的测量仪器。具有测量精度高、量程大、速度快、灵敏度高、抗扰力强等优点。在计量领域中可作为长度基准以及设备校准工具。广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-06-08
  • 访  问  量:433

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SJ6000高速激光干涉仪采用高性能的稳频氦氖激光器,采用迈克尔逊干涉原理的测量仪器。具有测量精度高、量程大、速度快、灵敏度高、抗扰力强等优点。在计量领域中可作为长度基准以及设备校准工具。广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。


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SJ6000高速激光干涉仪结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。


产品配置

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图800.jpg

▲主要镜组图

其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。


技术规格

稳频精度0.05ppm
动态采集频率50 kHz
预热时间≤ 6分钟
工作温度范围(0~40)℃
存储温度范围(-20~70)℃
环境湿度(0~95)%RH
线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)
线性测量精度0.5ppm (0~40)℃
角度轴向量程(0~15)m
角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″


测量功能

1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

3.可实现龙门机床双轴同步测量;

4.可实现对机床回转轴的测量与校准;

5.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

6.具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

7.支持手动或自动进行环境补偿。


对机床精度再校准.jpg

对机床精度再校准

光刻机X轴Pitch测量.jpg


激光干涉仪对机床运动导轨和滚珠丝杆的各项参数检测分析、校准补偿的重要性,而机床在装配、加工、生产的同时需要频繁的使用到激光干涉仪,来进行多种几何量精度参数的测量以及动态性能的测试、分析。

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