纳米精度激光干涉仪

SJ6000纳米精度激光干涉仪采用高性能的稳频氦氖激光器，采用迈克尔逊干涉原理的测量仪器。具有测量精度高、量程大、速度快、灵敏度高、抗扰力强等优点。在计量领域中可作为长度基准以及设备校准工具。广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。

产品功能

1、可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

2、可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

3、可实现龙门机床双轴同步测量；

4、可实现对机床回转轴的测量与校准；

5、可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

6、具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

7、支持手动或自动进行环境补偿。

SJ6000纳米精度激光干涉仪检测集光、机、电、计算机等技术于一体，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

产品配置

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

线性测量配置及使用方法

线性测量（线性轴位置精度测量的简称）配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。其中，线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。

SJ6000静态测量软件可以将线性测量结果生成误差补偿表，该表涵盖了各个测量点的补偿值，运动控制系统制造商允许通过修改运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。

线性测量中目标位置的数据采集有基于位置的目标采集和基于时间的目标采集两种方式，普遍采用基于位置的目标采集方式，即：被测运动轴需设定若干个等距的定位点，当运动轴移动到设定的定位点时，需设置停留时间，以供SJ6000测量软件进行当前点的数据采集。

线性测量应用

SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。

技术规格