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单频激光干涉仪sj6000

简要描述:单频激光干涉仪sj6000自动采集数据,避免人为读数误差,精度高;测量过程全自动化,效率高;可测量任意方向的回转轴,可测量任意角度间隔,通用性强;可自动生成误差曲线和补偿数据,根据不同标准自动计算定位精度结果,无需人工计算。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-09-05
  • 访  问  量:355

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

单频激光干涉仪sj6000自动采集数据,避免人为读数误差,精度高;测量过程全自动化,效率高;可测量任意方向的回转轴,可测量任意角度间隔,通用性强;可自动生成误差曲线和补偿数据,根据不同标准自动计算定位精度结果,无需人工计算。

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单频激光干涉仪sj6000结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。


性能特点

1.测量精度高、速度快,稳定性好

(1)使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)

(2)以光波长为测量单位,分辨率可达nm级

(3)使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。

(4)配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度

(5)分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

(1)可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

(2)结合软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析

(3)可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析

3.软件界面友好

(1)使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。

(2)将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。

(3)向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。

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产品配置

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图800.jpg

主要镜组图

其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。


线性测量功能

线性测量(线性轴位置精度测量的简称)配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成,可满足0~80m范围内的线性测量。其中,线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。

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广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。

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sj6000激光干涉仪具有高精度、高灵敏度、非接触式测量等优点,集光、机、电、计算机等技术于一体,在计量领域中可作为长度基准以及设备校准工具。广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。

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