中图仪器SuperViewW1光学粗糙度测量仪以白光干涉技术为原理，具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

SJ57系列表面粗糙度测量仪器采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高稳定性气浮隔振系统、高性能计算机控制系统技术，实现对球面及非球面光学元器件表面粗糙度和轮廓的高精度测量和分析。

SuperViewW1表面粗糙度光学测量仪采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为0.75%，重复精度要求0.1%（1σ）（测量15次获取的数据标准差），主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量，主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓等。

大量程粗糙度测量仪是一款表面粗糙度测量仪器；采用进口高精度光栅测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、音圈电机测力系统、高性能粗糙度测量模块、高性能计算机控制系统技术，实现对各种工件表面粗糙度的测量和分析

小型粗糙度测量仪通过高精度研磨导轨、高性能直线电机保证测量的高稳定性及直线度，采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面粗糙度微观轮廓的二维坐标，计算机通过修正算法对光栅数据进行修正，最终还原出工件粗糙度信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对粗糙度进行各种参数分析。

中图仪器SuperViewW1 非接触粗糙度测量仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。