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粗糙度测量仪
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由于硅晶圆的粗糙度检测精度已到亚纳米量级,而在此量级上,接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求,只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的SuperViewW1晶圆粗糙度检测仪器才适用。
中图仪器SuperViewW1 非接触粗糙度测量仪分辨率0.1μm,重复性0.1%,可为样品表面测量提供快速,便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
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