SuperViewW1粗糙度轮廓光学测量仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

SJ5780轮廓粗糙度测量仪器主要是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量，通俗地讲，就是零件表面加工得光不光，即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。该仪器爬坡能力强、功能丰富，解决复杂测量问题，操作却异常简单轻松！

由于硅晶圆的粗糙度检测精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的SuperViewW1晶圆粗糙度检测仪器才适用。

中图仪器SuperViewW1 非接触粗糙度测量仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。