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中图白光干涉仪

简要描述:中图白光干涉仪专用于非接触式快速测量,具有三维形貌测量和图像分析的功能。适合检测的样品按领域分为微纳材料、超精密加工(机械、光学)、半导体封装、消费电子类这四个领域。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-11-11
  • 访  问  量:78

详细介绍

品牌其他品牌产地国产
加工定制仪器尺寸900x700x604mm
仪器主机重量<150kg测量范围140x110x100mm
台阶测量准确度0.3%台阶测量重复性0.08% 1σ
粗糙度RMS重复性0.005nm

白光干涉仪适合检测的样品按领域分为微纳材料、超精密加工(机械、光学)、半导体封装、消费电子类这四个领域。


其中消费电子类即智能电子产品的玻璃外壳、内嵌组装要求比较高的超光滑薄片,如home键、手机摄像头里的薄片;

半导体行业的整个产业链上的工艺流程是:硅棒经过一系列切削、打磨物理化学方法后获得比较粗糙的硅片,经过单面抛光后即成为可进行蚀刻工艺(将IC芯片蚀刻到抛光面)的硅片,上述两个步骤获得的是半导体领域里原材料硅片,属于来料部分,对抛光后的硅片抛光面粗糙度有要求,一般要求在1nm及以下。


550应用领域0.jpg


中图白光干涉仪以白光干涉技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,获取质量参数,可以达到纳米级的检测精度。


产品参数

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500.jpg


表面质量等级非常高的各种光学镜片和玻璃等超精密加工产物进行测量,如果采用接触式的轮廓仪,会划伤器件表面,而一般的非接触式光学影像方法,也没有办法克服它们的高透明度特性。但用中图白光干涉仪可以解决。


玻璃屏检测

生活中智能手机、平板电脑、智能手表等日常的智能产品中常见的玻璃屏,需要对其表面粗糙度和轮廓进行检测。以手机玻璃屏为例:


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玻璃屏表面粗糙度检测


蓝宝石玻璃检测

蓝宝石有优良的物理和化学特性,常被用于制作成各种光学元件。其主要成分是氧化铝(Al₂O₃),主要用于制成摄像头保护镜、棱镜、表镜等,加工出来的蓝宝石玻璃分为双面抛光和单面抛光两种,表面粗糙度就是决定了抛光程度(即表面质量等级)的直接因素。


650蓝宝石玻璃的光面和糙面的粗糙度.jpg

一片单面抛光蓝宝石玻璃的光面和糙面的粗糙度检测图像及数据


“见一叶而知深秋,窥一斑而见全豹" 这句话用来形容中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪,在超精密加工显微测量场景中发挥的作用恰如其分。


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