中图仪器白光干涉仪

您是否还在被“材质适配窄、精度不稳定、粗糙度与轮廓度需分机测量、批量检测效率低"问题困扰？中图仪器白光干涉仪（SuperViewW系列）高精度、高效率、高适配、低运维，搭配全场景适配、自动化高效操作，在半导体、3C电子、光学加工等精密制造领域中解决“测量数据不可重复"“微观粗糙度检测精度不足"等测量难题。

一、解决哪些测量痛点？

二、有哪些产品优势？

1.高重复精度，数据可靠可追溯

粗糙度RMS重复性低至0.005nm，形貌重复性达0.1nm，台阶测量准确度仅0.3%，符合ISO 25178、ISO 10610等300余种国内外标准。基于白光干涉技术与复合型EPSI重建算法，连续10次测量Sa=0.2nm硅晶片，数据偏差＜0.001nm，为工艺优化、产品质检提供可信的量化依据，某半导体企业应用后，因测量误差导致的返工率降低15%。

2.高速扫描+自动化，提高效率降低成本

W1-Ultra型号在0.1nm分辨率下扫描速度高达8μm/s，是传统设备的4倍以上；支持单/多区域一键测量、阵列式批量检测，搭配编程预设流程，实现无人值守自动化操作。

3.全场景适配，无需频繁换设备

单一扫描模式覆盖超光滑到粗糙、镜面到全透明/黑色材质，10mm Z向扫描范围搭配方形、圆形、螺旋式自动拼接功能，支持数千张图像无缝拼接。无论是半导体研磨减薄件、3C金属壳模具，还是光学纳米台阶元件，均可精准测量，满足多品类生产企业一台设备搞定全场景的需求。

4.稳定防护双保障，降低运维成本

气浮式隔振底座隔绝地面振动干扰，0.1nm分辨率环境噪声评价功能实时监控干扰源；双重镜头防撞保护（软件ZSTOP+弹簧回缩结构）+光源无人值守自动熄灯设计，设备年损耗率降低至2%以下，光源使用寿命延长3年。

三、行业应用

1.半导体制造及封装：精准测量硅晶片研磨减薄后的表面粗糙度、光刻槽道形貌，某头部半导体企业应用后，工艺良率提升8%，检测数据与国际标准样块偏差＜0.1%。

2.3C电子：适配手机玻璃屏粗糙度检测、金属壳模具瑕疵识别、油墨屏高度差测量，批量检测无需重复调试，报表自动导出（Word/Excel/PDF），满足企业质检标准化需求。

3.光学加工：针对纳米台阶、光学元件表面粗糙度测量，实现916.5nm台阶高度精准量化，助力某光学厂商降低产品返工率12%。

4.汽车零部件与MEMS器件：检测精密齿轮磨损情况、轴承孔隙间隙，在复杂车间环境中保持数据稳定，某车企将零部件质检周期从1.5小时缩短至40分钟。

四、合作邀约

SuperView W中图仪器白光干涉仪助力企业提升质检效率、降低成本、保障产品品质。现面向全国制造企业、检测机构、科研单位开放合作，提供定制化测量解决方案与专业技术支持。

如需获取产品演示视频、行业案例手册或精准报价，欢迎随时联系中图仪器，我们将为你提供一对一专业咨询服务！

恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。