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高性能激光干涉仪

简要描述:SJ6000高性能激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-01-03
  • 访  问  量:78

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SJ6000高性能激光干涉仪采用双频氦氖激光器作为光源。其精度高,抗干扰能力强,空气湍流、热波动等影响甚微,因此降低了对环境条件的要求,使它不仅能用于实验室,还可在车间条件下测量大距离用,是高精度线性位移测量仪器。


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测量方法

进行线性测量的一般步骤 

  (1)安装设置激光干涉仪 

  (2)将激光束与被测量的轴校准 

  (3)启动测量软件,并输入相关参数(如材料膨胀系数)。 

  (4)在机床上输入测量程序,启动干涉仪测量,并记录数据。 

  (5)用测量软件分析测量数据,生产补偿文件。 

  光束快速准直步骤 

  (1)沿着运动轴将反射镜与干涉镜分开。 

  (2)移动机床工作台,当光束离开光靶外圆时停止移动。 

  垂直光束调整 

  (3)使用激光头后方的指形轮使两道光束回到相同的高度。 

  (4)使用三脚架中心主轴上的高度调整轮使激光头上下旋转,直到两道光束都击中光靶中心。 

  水平光束调整 

  (5)用三脚架左后方的小旋钮,调整激光头的角度偏转,使两道光束彼此重叠。 

  (6)用三脚架左边中间的大旋钮,调整激光头的水平位置,使两道光束击中光靶的中心。 

  (7)沿着运动轴重新开始移动机床工作台。在看到光束移开光靶时再次停止。重复步骤3到6,直到完成整个轴向的光镜准直。 

  (8)达到轴的末端时,将机床移回,使反光镜及线性反射镜互相靠近。注:若其中一道光束离开光闸的光靶,是由于反光镜侧向偏移所造成。上下左右移动反光镜,使从反光镜返回的光束与干涉镜的光束在光闸的光靶上互相重叠。 

  重复步骤1到8,直到两道光束在整个运动轴长度范围内都保持在光靶的中心。 

  (9)保持光束和测量轴准直。将光闸旋转到其测量位置。当反光镜沿着机床的整个运动长度移动时,检查线性数据采集软件中显示的信号强度。 


SJ6000高性能激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。

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