高性能激光干涉仪

SJ6000高性能激光干涉仪采用氦氖激光器作为光源。其精度高，抗干扰能力强，空气湍流、热波动等影响甚微，因此降低了对环境条件的要求，使它不仅能用于实验室，还可在车间条件下测量大距离用，是高精度线性位移测量仪器。

测量方法

进行线性测量的一般步骤 

  （1）安装设置激光干涉仪 

  （2）将激光束与被测量的轴校准 

  （3）启动测量软件，并输入相关参数（如材料膨胀系数）。 

  （4）在机床上输入测量程序，启动干涉仪测量，并记录数据。 

  （5）用测量软件分析测量数据，生产补偿文件。 

  光束快速准直步骤 

  （1）沿着运动轴将反射镜与干涉镜分开。 

  （2）移动机床工作台，当光束离开光靶外圆时停止移动。 

  垂直光束调整 

  （3）使用激光头后方的指形轮使两道光束回到相同的高度。 

  （4）使用三脚架中心主轴上的高度调整轮使激光头上下旋转，直到两道光束都击中光靶中心。 

  水平光束调整 

  （5）用三脚架左后方的小旋钮，调整激光头的角度偏转，使两道光束彼此重叠。 

  （6）用三脚架左边中间的大旋钮，调整激光头的水平位置，使两道光束击中光靶的中心。 

  （7）沿着运动轴重新开始移动机床工作台。在看到光束移开光靶时再次停止。重复步骤3到6，直到完成整个轴向的光镜准直。 

  （8）达到轴的末端时，将机床移回，使反光镜及线性反射镜互相靠近。注：若其中一道光束离开光闸的光靶，是由于反光镜侧向偏移所造成。上下左右移动反光镜，使从反光镜返回的光束与干涉镜的光束在光闸的光靶上互相重叠。 

  重复步骤1到8，直到两道光束在整个运动轴长度范围内都保持在光靶的中心。 

  （9）保持光束和测量轴准直。将光闸旋转到其测量位置。当反光镜沿着机床的整个运动长度移动时，检查线性数据采集软件中显示的信号强度。 

SJ6000高性能激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。