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工业激光干涉测量仪

简要描述:以激光干涉技术为核心,SJ6000工业激光干涉测量仪机床精度测试的分辨率可达纳米级。采用的激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出,并且干涉镜与主机分离设计,避免了干涉镜受热影响,保证了干涉光路稳定可靠。可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-01-03
  • 访  问  量:73

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SJ6000工业激光干涉测量仪可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析。内置13份标准,包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。


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激光的高方向性、高相干性和高单色性特点,使其具有普通光源所没有的优势。以激光干涉技术为核心,SJ6000工业激光干涉测量仪机床精度测试的分辨率可达纳米级。采用的激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出,并且干涉镜与主机分离设计,避免了干涉镜受热影响,保证了干涉光路稳定可靠。


测量功能

(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;

(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

(5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

(6)支持手动或自动进行环境补偿。


技术指标

主机

稳频精度:0.05ppm

动态采集频率:50 kHz

预热时间:≤ 6分钟

工作温度范围:(0~40)℃

存储温度范围:(-20~70)℃

环境湿度:(0~95)%RH

环境补偿单元

空气温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

材料温度传感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃

空气湿度传感器:±6%RH (0~95)%RH

大气压力传感器:±0.1kPa (65~115)kPa


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