咨询电话:18928463988
Products产品中心
首页 > 产品中心 > 光学3D表面轮廓仪 > 白光干涉仪 > SuperViewW1光学白光干涉测量仪

光学白光干涉测量仪

简要描述:SuperViewW1光学白光干涉测量仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。可以对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-01-09
  • 访  问  量:76

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SuperViewW1光学白光干涉测量仪针对芯片封装测试流程的测量需求,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而SuperViewW1-Pro 型号增大了测量范围,可覆盖8英寸及以下晶圆,定制版真空吸附盘,稳定固定Wafer;气浮隔振+壳体分离式设计,隔离地面震动与噪声干扰。


300.jpg


SuperViewW1光学白光干涉测量仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。可以对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


结构特点

1、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

2、双重防撞保护措施

除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,保护仪器,降低人为操作风险。

3、双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。


750750.jpg


测量软件

1)测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;

2)可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;

3)结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程;

4)几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;

5)一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能;

6)可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。


产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
深圳市中图仪器股份有限公司
  • 联系人:罗健
  • 地址:深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园
  • 邮箱:sales@chotest.com
  • 传真:86-755-83312849
关注我们

欢迎您关注我们的微信公众号了解更多信息

扫一扫
关注我们
版权所有 © 2023 深圳市中图仪器股份有限公司 All Rights Reserved    备案号:粤ICP备12000520号    sitemap.xml
管理登陆    技术支持:仪表网