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白光干涉仪三维显微镜

简要描述:SuperViewW1白光干涉仪三维显微镜以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-02-09
  • 访  问  量:438

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SuperViewW1白光干涉仪三维显微镜以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。


应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


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SuperViewW1白光干涉仪三维显微镜载物台尺寸为320*200mm(可定制),行程为140*110mm(可定制);测量的Z向范围可达10mm(2.5X镜头),Z向的精度可高达0.1nm。可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,XY载物台标准行程为140*110mm,局部位移精度可达亚微米级别,镜头的横向分辨率数值可达0.4um,Z向扫描电机可扫描10mm范围,纵向分辨率可达0.1nm级别,因此可测非常微小尺寸的器件。


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行业应用

在3C领域,可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度;

在LED行业,可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度;

在光纤通信行业,可以测量光纤端面缺陷和粗糙度;

在集成电路行业,可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行业,可以测量台阶高度和表面粗糙度;

在军事领域,可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。


测量方法

1.点击XY复位,使得镜头复位到载物台中心

2.将被测物放置在载物台夹具上,被测物中心大致和载物台中心重合;

3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件;

4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度,找到干涉条纹;

5.设置好扫描方式和扫描范围;

6.点击选项图标,确认自动找条纹上下限无误;

7.点击多区域测量图标,可选择方形和(椭)圆形两种测量区域形状;

8.根据被测物形状和尺寸,"形状"栏选择“椭圆平面",X和Y方向按需设置;

9.点击弹出框右下角的“开始"图标,仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。



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