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SJ6000高精度激光干涉仪

简要描述:SJ6000高精度激光干涉仪除了环境适应能力好,还可以进行动态高速测量,选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;支持手动或自动进行环境补偿。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-05-29
  • 访  问  量:420

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SJ6000高精度激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。

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SJ6000高精度激光干涉仪除了环境适应能力好,还可以进行动态高速测量,选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。


功能广

可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

可实现龙门机床双轴同步测量;

可实现对机床回转轴的测量与校准;

可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

支持手动或自动进行环境补偿。

对机床精度再校准.jpg

对机床精度再校准

导轨直线度检测.jpg

导轨直线度检测


技术规格

稳频精度0.05ppm
动态采集频率50 kHz
预热时间≤ 6分钟
工作温度范围(0~40)℃
存储温度范围(-20~70)℃
环境湿度(0~95)%RH
线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)
线性测量精度0.5ppm (0~40)℃
角度轴向量程(0~15)m
角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″




软件强

友好的人机界面;

丰富的应用功能模块;

向导式的操作流程;

简洁化的记录管理;

支持中文、英文和俄文界面;

支持企业专属模板定制。


EC20环境补偿单元

中图仪器SJ6000激光干涉仪配备的EC20环境补偿单元,由环境补偿主机(内置湿度传感器和气压传感器)、空气温度传感器和3个材料温度传感器组成,可实现对空气温度、湿度、大气压力和材料温度的实时高精度检测。


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EC20环境补偿单元


EC20环境补偿单元在出厂前,会依照相关计量标准对各环境参量进行精确校准,通常情况下建议24个月校准一次。在使用EC20环境补偿单元过程中,在不影响测量光路和被测物体运动的前提下,建议将环境补偿主机和空气温度探头就近于测量光路中间处放置。


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