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激光共聚焦显微技术

简要描述:中图仪器VT6000激光共聚焦显微技术以转盘共聚焦光学系统为基础,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量,是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-05-29
  • 访  问  量:368

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

与传统光学显微镜相比,激光共聚焦显微镜具有更高的分辨率,所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。


中图仪器VT6000激光共聚焦显微技术以转盘共聚焦光学系统为基础,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量,是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。

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产品功能

1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能;

2)设备具备自动拼接功能,能够快速实现大区域的拼接缝合测量;

3)设备具备一体化操作的测量与分析软件,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能;

4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能;

5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能,可实现批量数据文件的快速分析功能;

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技术指标

型号VT6100


行程范围

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
仪器重量50kg
测量原理共聚焦光学系统
显微物镜10×;20×;50×;100×
视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度测量

重复性(1σ)12nm
精度± (0.2+L/100) μm
显示分辨率0.5nm


宽度测量

性(1σ)40nm
精度± 2%
显示分辨率1nm
XY位移平台负载10kg
控制方式电动
Z0轴扫描范围10mm
物镜塔台5孔电动
光源白光LED


应用领域

对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


VT6000激光共聚焦显微技术自设计之初,便定下了“简单好用"四字方针的目标。

1)结构简单:仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成,控制单元集成在设备主机之内,亦可采用笔记本电脑驱动,实现了“拎着走"的便携式设计;

2)真彩图像:配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像,对细节的展现纤毫毕现;

3)操作便捷:采用全电动化设计,并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换,图像视窗和分析视窗同界面的设计风格,实现了所见即所得的快速检测效果;

4)采用自研的电动鼻轮塔台,并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化,确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。


标准配置: 

1)VT6000主机

2)50×物镜

3)XY位移载物台:自动位移台

4)5孔电动物镜转盘

5)品牌计算机

6)操纵手柄

7)中图VT6000共聚焦显微镜软件

8)仪器配件箱

9)单刻线台阶高标准块、超光滑硅标准块

10)产品使用说明书

11)产品合格证、保修卡

可选配置:

1)测量物镜(奥林巴斯):10×、20×、100×

2)载物台:6寸晶圆吸附平台、8寸晶圆吸附平台

3)整机校准证书

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