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台阶仪探针式表面轮廓仪

简要描述:中图仪器CP台阶仪探针式表面轮廓仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。它可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-11-13
  • 访  问  量:329

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

中图仪器CP台阶仪探针式表面轮廓仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。它可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。

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主要组成部分

1、测量系统

(1)单拱龙门式设计,结构稳定性好,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响,提高了测量精度。

(2)线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。

(3)传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。

2、工件台

(1)精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台,可以对样品的位置以及角度进行调节,三维位置均可以调节,利于样品调整。

(2)超高直线度导轨,有效避免运动中的细微抖动,提高扫描精度,真是反映工件微小形貌。

3、成像系统

500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上,使得测量更加直观。

4、软件系统

测量软件包含多个模块。

5、减震系统

防止微小震动对测量结果的影响,使实验数据更加准确。

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典型应用

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性能特点

CP台阶仪探针式表面轮廓仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。

性能特点

1.亚埃级位移传感器

具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性;

2.超微力恒力传感器

1-50mg可调,以适应硬质或软质样品表面,采用超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的接触式测量;

3.超平扫描平台

系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。


部分技术指标

型号CP200
测量技术探针式表面轮廓测量技术
样品观察光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm
探针传感器
超低惯量,LVDC传感器
平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)
单次扫描长度55mm
样品厚度50mm
载物台晶圆尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
台阶高度重复性5 Å, 量程为330μm时/ 10 Å, 量程为1mm时(测量1μm台阶高度,1δ)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
仪器电源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用环境

相对湿度:湿度 (无凝结)30-40% RH

温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)

地面振动:6.35μm/s(1-100Hz)

音频噪音:≤80dB

空气层流:≤0.508 m/s(向下流动)

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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