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纳米级白光干涉仪

简要描述:中图仪器SuperViewW1纳米级白光干涉仪是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器,主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-24
  • 访  问  量:226

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

中图仪器SuperViewW1纳米级白光干涉仪是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器,主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。

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它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。


产品功能

(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

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应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例:

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在光学行业中的应用

光学器件,例如各种光学镜片和玻璃,属于超精密加工的产物,因此其表面质量等级都非常高,接触式轮廓仪会划伤表面,而且由于其高透明度,一般的非接触式光学影像方法也束手无策,而中图仪器利用光学干涉原理研制而成的SuperView W1光学3D表面轮廓仪,能解决这两个难题,为光学镜片和玻璃的表面质量检测提供了标准解决方案。

光学透镜检测.jpg

光学透镜检测

蓝宝石玻璃检测.jpg

蓝宝石玻璃检测

玻璃屏检测.jpg

玻璃屏检测

玻璃表面台阶检测.jpg

玻璃表面台阶检测


SuperViewW1纳米级白光干涉仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。


部分技术指标

型号

W1

光源白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×、0.75×、1×

标准视场0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×)


XY位移平台

尺寸
320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式电动
Z轴聚焦行程100㎜
控制方式电动
台阶测量
可测样品反射率0.05%~100%
主机尺寸700×606×920㎜
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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