中图仪器SuperViewW白光三维测量系统基于白光干涉原理，能以3D非接触方式对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。

中图仪器SuperViewW中图科研级白光干涉仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。它能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。

中图仪器SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度仪基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。

中图仪器SuperViewW1白光干涉膜厚仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器SuperViewW非接触式白光干涉粗糙度仪基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

SuperViewW1国产自研白光干涉三维形貌仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。