NS系列高精度探针接触式台阶仪单拱龙门式设计,结构稳定性好,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响,提高了测量精度。线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
NS系列探针式薄膜厚度台阶仪通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作,结合亚埃级分辨率(5 Å)与智能化分析软件,可精准测量台阶高度(纳米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等参数)、膜层厚度及应力分布,为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。
NS系列高精度探针式台阶仪主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。单拱龙门式设计,结构稳定性好,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响,提高了测量精度。
NS系列探针式接触台阶高度仪应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位,其对表面微观形貌参数的准确表征,对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。
NS系列国产高精度台阶仪采用了磁吸式测针,当需要执行换针操作时,可现场快速更换扫描测针,并根据软件中的标定模块进行快速标定,确保换针后的精度和重复性,减少维护烦恼。
中图仪器国产台阶仪NS系列是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
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