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国产中图共焦显微镜主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。它以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,保证仪器的高测量精度。
NS系列纳米级台阶仪线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。
SuperViewW白光干涉3D形貌仪可对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
中图SEM钨灯丝扫描电子显微镜操作系统简单,样品一键装入,自动导航和一键出图能力(自动聚焦+自动消像散+自动亮度对比度)帮助用户在短短几十秒内就可获取高清图像,大大提升了使用效率。
中图仪器钨灯丝扫描电镜SEM在工业领域展现出广泛的应用价值,标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统,能满足用户对多类型样品的观测需求,实现微观的形貌和元素分析等。
NS系列接触式表面形貌台阶仪主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。单拱龙门式设计,结构稳定性好,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响,提高了测量精度。
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