SuperViewW系列白光干涉仪三维表面测量系统以白光干涉技术为原理结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

VT6000国产共聚焦3D材料测量显微镜以共聚焦技术为原理，在相同物镜放大的条件下，所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。

NS系列纳米级2D台阶高度测量仪采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

CEM3000大样品仓台式扫描电镜用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析，台式扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。

VT6000超高分辨率共聚焦显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。共聚焦显微镜测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

不同于立式电镜，CEM3000国内高分辨率台式扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。