VT6000超分辨率转盘共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理，结合精密纵向扫描等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，是实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

SuperViewW高精度纳米量级白光干涉测量仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。

SuperViewW科研级三维白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。

NS系列高精度薄膜厚度台阶仪集成超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。

VT6000国产转盘共聚焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高，擅长微纳级粗糙轮廓的检测，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。

VT6000共聚焦工件表面微观形貌检测显微镜一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。它在材料生产检测领域中，测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。