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共聚焦3D显微镜

简要描述:中图仪器VT6000共聚焦3D显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。主要采用3D捕获的成像技术,它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像,具有很强的纵向深度的分辨能力。所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜,擅长微纳级粗糙轮廓的检测。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-10-13
  • 访  问  量:362

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

中图仪器VT6000共聚焦3D显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。主要采用3D捕获的成像技术,它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像,具有很强的纵向深度的分辨能力。所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜,擅长微纳级粗糙轮廓的检测。

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它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。


产品功能

(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能;

(2)设备具备自动拼接功能,能够快速实现大区域的拼接缝合测量;

(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能;

(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能;

(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能,可实现批量数据文件的快速分析功能;

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功能特点

1、测量模式多样

单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择,适应多种现场应用环境;

2、双重防撞保护功能

Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能,双重保护;

3、分析功能丰富

3D:表面粗糙度、平整度、孔洞体积、几何曲面、纹理方向、PSD等分析;

2D:剖面粗糙度、几何轮廓测量、频率、孔洞体积、Abbott参数等分析。

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VT6000共聚焦3D显微镜具有直观测量的特点,能够有效提高工作效率,更加快捷准确地完成日常任务。借助共聚焦显微镜,能有效提高工作效率,实现更准确的操作。清晰地展示微小物体的图像形态细节,显示出精细的细节图像。


应用领域

对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例:

应用应用.jpg


部分技术指标

型号VT6100


行程范围

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
仪器重量50kg
测量原理共聚焦光学系统
显微物镜10×;20×;50×;100×
视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度测量

重复性(1σ)12nm
显示分辨率0.5nm


宽度测量

性(1σ)40nm
显示分辨率1nm
XY位移平台负载10kg
控制方式电动
Z0轴扫描范围10mm
物镜塔台5孔电动
光源白光LED

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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