CEM3000自主化SEM扫描电镜采用钨灯丝电子枪,其电子枪发射电流大、稳定性好,以及对真空度要求不高,使得钨灯丝台式扫描电镜能够在较短的时间内达到稳定的工作状态并获得清晰的图像,从而提高了检测效率,节省了时间成本,特别适用于需要快速获取结果的应用场景.
VT6000系列纳米级共聚焦成像显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,保证仪器的高测量精度。主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。
SuperViewW系列高精度光学轮廓白光干涉仪以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
不同于立式电镜,中图SEM扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。
CEM3000实验室高抗振防磁扫描电镜空间分辨率出色和易用性强,用户能够非常快捷地进行各项操作。甚至在自动程序的帮助下,无需过多人工调节,便可一键得到理想的拍摄图片。CEM3000系列上还运用了快速抽放气设计,让用户在使用时不再等待,且全系列可选配低真空系统,以便精准调节样品仓内真空度,满足不同样品的观测需求。
NS系列高精度探针接触式台阶仪单拱龙门式设计,结构稳定性好,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响,提高了测量精度。线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
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