SuperViewW系列白光干涉三维形貌仪轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理，特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

NS系列亚埃级分辨率台阶仪是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。

CEM3000系列国产钨灯丝台式扫描电镜的发射电流大且稳定，抗震和抗电磁干扰等性能较好，在一些较为复杂的工作环境中，如存在一定程度的机械振动或电磁干扰的实验室、生产现场等，钨灯丝台式扫描电镜依然能够稳定地工作，保证检测结果的可靠性和重复性，减少因外界干扰而导致的图像模糊、信号失真等问题。

CEM3000国产桌面扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。即便在一些常规电镜难以耐受的工作环境中，该系列台式电镜也能凭借抗振防磁技术，展现出色的性能。

VT6000国产共聚焦3D材料分析显微镜以转盘共焦光学系统为基础，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析的精密光学仪器，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

VT6000材料3D形貌共聚焦测量显微镜基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，从而实现器件表面形貌3D测量。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。