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SuperViewW1三维白光干涉仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,高精度测量;隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性。
在材料生产领域中,中图激光共聚焦扫描显微镜能够清晰地展示微小物体的图像形态细节,显示出精细的细节图像。能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。
SuperViewW1白光干涉仪三维轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
MX3200显微尺寸测量仪可用于精密机械、光通讯器件、精密模具、磁性材料、精密冲压、手机精密配件、医疗器械、钟表、刀具、计量检测等领域,进行各种二维尺寸点、线、圆等的测量和形位公差的评价。
MX3200中图显微尺寸测量仪可用于精密机械零件、晶圆刻蚀微结构、器件精密装配、精密电子、光纤、医疗器械、钟表、刀具等领域。它将显微成像与传统影像测量相结合,实现了微小特征的大范围测量。配置电动塔台,可自动切换到不同的倍率,探测各种精密微观二维尺寸特征。
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